| 摘要 |
<p>붕소 농도가 낮은 순수를 효율적으로 제조하기 위하여, 초순수 제조장치는, 활성탄장치(1)와, 히터(2)와, 막식 여과장치(3)와, 원수 탱크(4)와, 전처리장치(5)와, 전기탈이온장치(6)와, 일차 순수의 서브 탱크(7)로 구성되어 있고, 전처리장치(5)는, 제 1 역침투막(RO)장치(8)와, 제 2 역침투막(RO)장치(9)와, 탈탄산막장치(10)에 의해 구성되고, 이 전처리장치(5)가, 원수(W0)의 수질에 따라서, 염화물 이온 농도 100ppb이하의 처리수(W1)를 전기탈이온장치(6)의 탈염실로 도입할 수 있도록 설계되어 있다.</p> |
