| 摘要 |
<p>본 발명은 폴리머내에 퍼져있는 구성요소들의 네트웍과 패드내에 형성되는 다수의 공동들을 포함하며, 상기 구성요소들의 네트웍의 적어도 일부분이 상기 공동의 적어도 일부분에 연결되는 화학적-기계적 평탄화 연마 패드를 제공한다. 또한 본 발명은 구성요소들의 네트웍과 적어도 하나의 폴리머 또는 반응성 프리폴리머을 포함하는 조성물을 제공하는 과정과, 상기 조성물에 가스를 도입하는 과정 및 상기 조성물내에 다수의 공동들을 생성하기 위하여 상기 가스를 사용하는 과정을 포함하는, 상기 패드를 형성하는 방법을 개시한다. 또한 본 발명은 폴리머 또는 반응성 프리폴리머내의 구성요소들의 네트웍에 힘을 적용하고, 그 후 힘을 제거하여 공동 을 형성하는 방법을 개시한다.</p> |
