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<p>본 발명의 박막 적층체는, 수지 기체 위에, 제1층, 제2층의 순서로 형성된 박막 적층체에 있어서, 제1층이, a)로 표시되는 유기 규소 화합물의 축합물, 및 b) 유기 고분자 화합물을 함유하는, 막두께 500nm 이상의 유기 무기 복합 박막이며, 제2층이, a) 졸 겔법에 의해 형성된 막두께 200nm 이하의 금속 산화물 박막으로서, 또한 막두께의 편차[%] = 100×(막두께의 표준 편차)/(막두께의 평균치)로 표시되는 막두께의 편차가 10% 미만인 금속 산화물 박막, 또는, b) 막두께 500nm 이하의 가스 배리어막이며, 또한, 제1층은 제2층과의 계면측에 상기 유기 규소 화합물의 축합물이 농축된 층을 가지고, 그 농축층의 탄소 원자의 농도는, 제1층과 제2층과의 계면으로부터 300nm의 깊이의 제1층의 탄소 원자의 농도에 비해 20% 이상 적은 것을 특징으로 하는 박막 적층체이다.</p> |
