| 摘要 |
<p>잉곳 절단 공정을 안정화시키고, 평활하고 절단에 의한 웨이퍼 표면의 손상층의 두께가 작은 레진 본드 와이어 소우를 효율적으로 제조하는 방법과, 해당 방법에 적합한 레진 본드 와이어 소우용의 접착제 조성물을 제공하고자 한다. 금속 심선 표면에 연마 입자가 레진 본드를 통해서 고착되어 이루어진 레진 본드 와이어 소우의 제조에 이용되는 것으로, 노볼락형 페놀 수지 100 중량부, 레졸형 페놀 수지 10 ~ 30 중량부, 및 아민계 실란 커플링제 0.1 ~ 5 중량부를 필수 성분으로 하는 레진 본드 와이어 소우용의 접착제 조성물이며, 상기 접착제 조성물과, 연마 입자와, 상기 접착제 조성물을 용해하는 용제를 포함하여 이루어진 페이스트를 금속 심선 표면에 도포하고, 도포된 페이스트를 근적외선을 포함하는 적외선으로 가열하여 상기 접착제 조성물을 가교 반응시키는 가열 공정을 포함하는 레진 본드 와이어 소우의 제조 방법이다.</p> |
