| 摘要 |
내하중을 확보하면서, 진동을 저감할 수 있는 보관 선반을 제공한다. 보관 선반(1)은, FOUP(100)을 재치하는 재치부(20a ~ 20d)와, 재치부(20a ~ 20d)를 지지하는 프레임부(10)를 구비하고, 재치부(20a, 20c)는, 프레임부(10)에 제 1 탄성체(40, 41)를 개재하여 배치된 프레임(22a, 22c)과, 프레임(22a, 22c)에 제 2 탄성체(60, 61)를 개재하여 배치되고, 또한 FOUP(100)이 재치되는 선반판(24)을 구비한다. |
