METHOD FOR PRODUCING TRICHLOROSILANE

摘要

본 발명에 따른 트리클로로실란의 제조 방법에서는, 메틸디클로로실란(CHHSiCl)과 테트라클로로실란(SiCl)과 트리클로로실란(HSiCl)을 포함하는 혼합물(S)로부터 메틸디클로로실란의 제거에 수반하여 고순도의 트리클로로실란을 얻을 때에, 촉매 처리에 의해, 메틸디클로로실란과 테트라클로로실란 사이에서 염소 원자의 재분배를 행하여 트리클로로실란과 메틸트리클로로실란(CHSiCl)으로 변환하는 조작을 채용하였다. 정제 대상인 트리클로로실란(비점 32℃)과 비점이 가까운 메틸디클로로실란(비점 41℃)은 테트라클로로실란과의 사이에서 염소 원자의 재분배를 행함으로써 보다 비점이 높은 메틸트리클로로실란(비점 66℃)으로 변환되어, 불순물 제거가 용이한 것으로 된다.