| 摘要 |
CVD(화학기상성장) 성막 공법에 의한 성막 속도와 스퍼터링 성막 공법의 내구성을 아울러 확보할 수 있는 DLC(다이아몬드 라이크 카본) 피복막 및 피복 밸브 리프터를 제공한다. DLC 피복막은 기재 표면에 퇴적 형성한 중간층(3)과, 이 중간층(3) 상에 퇴적 형성한 DLC층(4)으로 구성되고, 표면 경화 가능한 금속 탄화물 또는 금속에 의해 상기 중간층(3)을 형성하고, 또한 탄화수소 가스 혼입의 불활성 가스 도입하에서 상기 중간층(3)과 공통되는 금속 원소의 첨가에 의해 상기 DLC층(4)을 형성함으로써, 중간층(3)과 DLC층(4)에 대해서 연속되는 스퍼터링 처리에 의한 성막을 가능하게 하고, 이것에 더해, Me-DLC(금속 첨가 DLC)에 의한 DLC층(4)의 H(수소) 함유량의 조절을 가능하게 하는 것이다. |
