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<p>개시된 대상의 일 형태에 따르면, 벌크 웨이퍼를 사용해서 모노리식 섬 후측 접촉 후측 접합 태양 전지를 형성하는 방법이 제공된다. 광 수용 전측 및 상기 전측에 대향하는 후측을 포함하는 반도체 웨이퍼의 후측 상에 에미터 및 베이스 접촉 영역을 형성한다. 상기 웨이퍼의 후측 상에 제1수준 접촉 금속화를 형성하고, 상기 반도체 웨이퍼의 후측에 전기 절연 백플레인을 부착한다. 상기 반도체 웨이퍼를 복수의 전기적으로 분리된 섬으로 패터닝하는 분리 트렌치를 상기 반도체 웨이퍼 내에서 형성하고, 상기 반도체 웨이퍼를 박막화한다. 상기 전기 절연 백플레인 상에 상기 복수의 섬을 전기적으로 연결하는 금속화 구조체를 형성한다.</p> |
