发明名称 Verfahren zum Heften von Chips auf ein Substrat
摘要 <p>Verfahren zum Heften von Chips (4) auf ein Substrat (1) an auf einer Oberfläche (1o) des Substrats (1) verteilten Chippositionen (1c) mit folgenden Schritten, insbesondere folgendem Ablauf:–Ausbildung oder Aufbringung einer an den Chippositionen (1c) zumindest im Bereich von Kontakten (2) durch Strukturierung freigelegten Funktionsschicht (7) mit B-Stage Eigenschaft auf das Substrat (1),–Heften von Chips (4) auf eine Chipkontaktseite (7a) der Funktionsschicht (7) an den Chippositionen (1c) und Kontaktierung der Kontakte (2) über Kontaktelemente (3).</p>
申请公布号 DE102012103430(B4) 申请公布日期 2015.10.22
申请号 DE201210103430 申请日期 2012.04.19
申请人 EV GROUP E. THALLNER GMBH 发明人 BURGGRAF, JÜRGEN;WIMPLINGER, MARKUS;WIESBAUER, HARALD;SIGL, ALFRED
分类号 H01L21/58;H01L21/56;H01L21/60;H05K3/32 主分类号 H01L21/58
代理机构 代理人
主权项
地址