一种锂电池SiCO-Si梯度薄膜电极体系及制备方法

摘要

本发明公开了一种锂电池SiCO-Si梯度薄膜电极体系，包括单晶硅基板，单晶硅基板上自下而上依次设有TiN阻挡层、Al薄膜层、SiAlCO薄膜层、SiCO薄膜层、SiO_1/3薄膜层和Si薄膜层。本发明通过将SiCO和硅这两种极具潜力的负极材料相结合，通过比容量和力学性质的梯度设计，综合体现出材料各自的优点并相互弥补不足。采用磁控溅射方法和硅、铝、石墨等靶材制备薄膜体系，具有附着性好、成本低、成份可控和低温等优点；还通过对SiCO表面进行纳米化处理，进一步加强了锂扩散和界面结合强度，最终得到具有优异电化学特性和界面力学性能的新型薄膜电极体系，且化学腐蚀法制备SiCO纳米表面具有过程简单快捷、无需贵重仪器、原料丰富廉价、纳米形貌可控等优点。

主权项

一种锂电池SiCO‑Si梯度薄膜电极体系，其特征在于：包括单晶硅基板，单晶硅基板上自下而上依次设有TiN阻挡层、Al薄膜层、SiAlCO薄膜层、SiCO薄膜层、SiO_1/3薄膜层和Si薄膜层。