| 发明名称 | 由石英玻璃制成的、用于在ArF准分子激光光刻中使用的光学部件以及用于制造该部件的方法 | ||
| 摘要 | 本发明基于一种由合成石英玻璃制成的光学部件，所述光学部件用在借助193nm的应用波长的ArF准分子激光光刻中，所述光学部件具有基本上无氧缺陷位置的玻璃结构、具有在0.1x10<sup>16</sup>个分子/cm<sup>3</sup>至1.0x10<sup>18</sup>个分子/cm<sup>3</sup>的范围内的氢含量并且具有少于2x10<sup>17</sup>个分子/cm<sup>3</sup>的SiH基含量和具有在0.1wt.ppm和100wt.ppm之间范围内的羟基含量，其中玻璃结构具有小于1070℃的假定温度。为了基于在633nm的测量波长的情况下压实行为的测量在使用应用波长的UV激光辐射的情况下能够实现关于压实行为的可靠预测，提出光学部件的一种构型，其中，所述部件对利用波长为193nm、具有5x10<sup>9</sup>个具有脉冲宽度为125ns并且能量密度分别为500µJ/cm<sup>2</sup>以及脉冲重复频率为2000Hz的脉冲的辐射的照射以激光诱导的折射率变化做出反应，所述折射率变化的量值在借助193nm的应用波长进行测量的情况下得出第一测量值M<sub>193nm</sub>并且在借助633nm的测量波长进行测量的情况下得出第二测量值M<sub>633nm</sub>，其中适用：M<sub>193nm</sub>/M<sub>633nm</sub><1.7。 | ||
| 申请公布号 | CN104995145A | 申请公布日期 | 2015.10.21 |
| 申请号 | CN201480009659.1 | 申请日期 | 2014.02.19 |
| 申请人 | 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司 | 发明人 | B.屈恩 |
| 分类号 | C03C4/00(2006.01)I;C03B19/14(2006.01)I;C03B19/01(2006.01)I;C03B20/00(2006.01)I;C03B32/00(2006.01)I;G02B1/00(2006.01)I;G02B1/02(2006.01)I;C03C3/06(2006.01)I | 主分类号 | C03C4/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人 | 卢江;刘春元 |
| 主权项 | 由合成石英玻璃制成的光学部件，所述光学部件用在借助193nm的应用波长的ArF准分子激光光刻中，所述光学部件具有基本上无氧缺陷位置的玻璃结构、具有在0.1x10<sup>16</sup>个分子/cm<sup>3</sup>至1.0x10<sup>18</sup>个分子/cm<sup>3</sup>的范围内的氢含量并且具有少于2x10<sup>17</sup>个分子/cm<sup>3</sup>的SiH基含量和具有在0.1wt.ppm和100wt.ppm之间范围内的羟基含量，其中所述玻璃结构具有小于1070℃的假定温度并且对利用波长为193nm、具有5x10<sup>9</sup>个具有脉冲宽度为125ns并且能量密度分别为500µJ/cm<sup>2</sup>以及脉冲重复频率为2000Hz的脉冲的辐射的照射以激光诱导的折射率变化做出反应，所述折射率变化的量值在借助193nm的应用波长进行测量的情况下得出第一测量值M<sub>193nm</sub>并且在借助633nm的测量波长进行测量的情况下得出第二测量值M<sub>633nm</sub>，其中适用：M<sub>193nm</sub>/M<sub>633nm</sub><1.7。 | ||
| 地址 | 德国哈瑙 | ||