| 发明名称 | 一种压力传感器及其压力检测方法和压力检测装置 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种压力传感器及其压力检测方法和压力检测装置，用以增大该压力传感器的量程范围。该压力传感器包括：硅片、位于硅片上的下电极板、位于所述下电极板上的可振动的上电极膜片、位于所述上电极膜片与所述下电极板之间的绝缘层、以及与所述上电极膜片连接的引出电极；其中，所述上电极膜片与所述绝缘层之间形成一个密封真空腔。 | ||
| 申请公布号 | CN104990648A | 申请公布日期 | 2015.10.21 |
| 申请号 | CN201510452544.6 | 申请日期 | 2015.07.28 |
| 申请人 | 京东方科技集团股份有限公司 | 发明人 | 徐晓娜 |
| 分类号 | G01L1/14(2006.01)I;G01L9/12(2006.01)I | 主分类号 | G01L1/14(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人 | 黄志华 |
| 主权项 | 一种压力传感器，其特征在于，该压力传感器包括：硅片、位于硅片上的下电极板、位于所述下电极板上的可振动的上电极膜片、位于所述上电极膜片与所述下电极板之间的绝缘层、以及与所述上电极膜片连接的引出电极；其中，所述上电极膜片与所述绝缘层之间形成一个密封真空腔。 | ||
| 地址 | 100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号 | ||