| 摘要 |
<p>피스톤 다이어프램을 가진 압전형 마이크로 스피커 및 그 제조 방법이 개시된다. 개시된 압전형 마이크로 스피커는, 캐비티를 가진 기판과, 기판 상에 형성되어 캐비티의 적어도 중심부를 덮는 진동막과, 진동막 상에 형성된 압전 구동부와, 캐비티 내에 배치된 피스톤 다이어프램을 구비한다. 압전 구동부에 의해 진동막이 진동하게 되면, 피스톤 바를 통해 진동막에 연결된 피스톤 다이어프램이 캐비티 내에서 피스톤 운동을 하면서 음향을 발생시킨다.</p> |
