发明名称 | 调整单晶棒晶向的方法及测量方法 | ||
摘要 | 本发明公开了一种调整单晶棒晶向的方法;包括如下的步骤:1)通过晶体的种类确定标准晶向;2)确定单晶Y轴方向和单晶X轴方向的晶向;3)将单晶X轴方向与垫条X轴方向平行,并进行单晶棒与垫条粘结;4)根据单晶X轴方向与标准晶向的偏差值进行调整。 | ||
申请公布号 | CN104985709A | 申请公布日期 | 2015.10.21 |
申请号 | CN201510330222.4 | 申请日期 | 2015.06.16 |
申请人 | 杭州海纳半导体有限公司 | 发明人 | 陈建峰;饶伟星;高海军;吴雄杰 |
分类号 | B28D7/00(2006.01)I;B28D5/04(2006.01)I | 主分类号 | B28D7/00(2006.01)I |
代理机构 | 杭州中成专利事务所有限公司 33212 | 代理人 | 金祺 |
主权项 | 一种调整单晶棒晶向的方法;其特征是:包括如下的步骤:1)通过晶体的种类确定标准晶向;2)确定单晶Y轴方向和单晶X轴方向的晶向;3)将单晶X轴方向与垫条X轴方向平行,并进行单晶棒与垫条粘结;4)根据单晶X轴方向与标准晶向的偏差值进行调整。 | ||
地址 | 310052 浙江省宁波市滨江区信诚路99号 |