| 摘要 |
【課題】保持している部材の周囲を減圧しても保持具からずれることを回避することができる接合部材製造装置及び接合部材の製造方法を提供する。【解決手段】接合部材製造装置１は、裏面Ｄｂが接触面１１ｆに接触した状態で第１の部材Ｄを保持する第１の保持具１０と、第２の部材Ｅを保持する第２の保持具２０と、密閉可能なチャンバ３０と、減圧装置５０と、第１の保持具１０及び／又は第２の保持具２０を移動させる移動装置４０と、制御装置６０とを備える。制御装置６０は、第１の接合面Ｄｆ又は第２の接合面Ｅｆに塗布された樹脂Ｇと樹脂Ｇが塗布されていない方の接合面との間隔Ｓが所定の間隔となるようにした後に、チャンバ３０内を所定の圧力を超える圧力から接合時圧力まで減圧するように移動装置４０及び減圧装置５０を制御する。所定の間隔は、変形が制限されない状態で接合時圧力に減圧したときに第１の部材Ｄが膨張する厚さの増加分よりも小さい。【選択図】図１ |
