| 摘要 |
<p>본 발명은 반도체 제조 공정에서 화학약품 가열에 사용하는 인라인 히터 용기 내부에 전류의 누설이 발생할 경우 이를 즉시 접지로 흘려 방전할 수 있는 접지선 조립체에 관한 것으로, 인라인 히터의 접지선 조립체를, 리드와이어의 선단 피복을 제거하고 노출시킨 도체와 프로브의 후단을 연결한 접합부와, 상기 접합부, 상기 리드와이어의 노출된 도체, 상기 리드와이어의 노출된 도체에 인접한 리드와이어 피복 및 상기 프로브의 선단을 제외한 나머지를 모두 감쌀 수 있는 제1불소수지수축튜브를 이들 외부에 삽입한 후 열수축시켜 형성한 제1보호층과, 상기 제1보호층 중 상기 리드와이어 피복에 형성된 제1보호층의 외부에 삽입한 스테인레스관과, 상기 스테인레스관 및 상기 스테인레스관 밖에 노출된 상기 제1보호층의 외부에, 제2불소수지수축튜브를 삽입한 후 열수축시켜 형성한 제2보호층을 포함하여 구성함을 특징으로 한다.</p> |
