ILLUMINATION OPTICAL SYSTEM EXPOSURE APPARATUS AND DEVICE MANUFACTURING METHOD
摘要
<p>광원(1)으로부터 공급되는 조명광에 의해서 피조사면(M)을 조명하는 조명 광학 시스템은, 조명 광학 시스템의 광로 내에 배치되고, 조명 광학 시스템의 동공 위치 또는 그 동공 위치와 광학적으로 공액인 위치에서의 소망하는 광강도 분포를 형성하는 공간광 변조기(S1)와, 조명광이 입사하는 공간광 변조기의 입사측에 배치되는 확산기(4)를 구비한다.</p>
