具有聚合物突出物的静电吸盘

摘要

根据本发明的一具体实例，提供一种静电吸盘。该静电吸盘包含一表面层，该表面层由一电极中的一电压激活以形成一电荷，从而将一基板静电夹持于该静电吸盘。该表面层包括多个聚合物突出物及该多个聚合物突出物所黏着的一电荷控制层，该多个聚合物突出物延伸至高于围绕该多个聚合物突出物的该电荷控制层的部分的一高度以在静电夹持该基板期间将该基板支撑于该多个聚合物突出物上。

主权项

一种静电吸盘，其包含：一表面层，其由一电极中的一电压激活以形成一电荷，从而将一基板静电夹持于该静电吸盘，该表面层包括多个聚合物突出物及该多个聚合物突出物所黏着的一电荷控制层，该电荷控制层由聚合物形成并且包含介于10⁸奥姆/平方至10¹¹奥姆/平方之间的一表面电阻率，该多个聚合物突出物延伸至高于围绕该多个聚合物突出物的该电荷控制层的部分的一高度以在静电夹持该基板期间将该基板支撑于该多个聚合物突出物上。