激光干涉仪中的准直与调焦机构

摘要

本发明公开一种激光干涉仪中的准直与调焦机构，包括调焦系统、准直系统，所述调焦系统固定安装于小直线导轨的小滑块上，所述小直线导轨和所述准直系统固定于一基板上表面，此基板固定安装于大直线导轨的大滑块上；所述小滑块由滑块本体和固定于滑块本体外侧端的轴承座块组成，此轴承座块的外侧部具有一内置有向心关节轴承的凹槽区；一固定支架一端固定于所述基板上，一移动杠杆一端安装到所述凹槽区内向心关节轴承上，移动杠杆的中部与支点组件活动连接，一伸缩部件位于所述固定支架另一端和移动杠杆另一端之间。本发明准直与调焦机构，结构简单、故障率低，实现了干涉仪中调焦系统和准直系统之间的位置切换，并实现了手动式可操作的调节干涉仪的图像清晰度，提高检测精度。

主权项

一种激光干涉仪中的准直与调焦机构，包括准直系统（1）、调焦系统（2），所述调焦系统（2）固定安装于小直线导轨（3）的小滑块（4）上，所述小直线导轨（3）和所述准直系统（1）固定于一基板（5）上表面，此基板（5）固定安装于大直线导轨（6）的大滑块（7）上；其特征在于：所述小滑块（4）由滑块本体（8）和固定于滑块本体（8）外侧端的轴承座块（9）组成， 此轴承座块（9）的外侧部具有一内置有向心关节轴承（10）的凹槽区（11）；一固定支架（12）一端固定于所述基板（5）上，一移动杠杆（13）一端安装到所述凹槽区（11）内向心关节轴承（10）上，所述固定支架（12）中部固定有具有支点（14）的支点组件（15），移动杠杆（13）的中部与支点组件（15）活动连接，一伸缩部件（16）位于所述固定支架（12）另一端和移动杠杆（13）另一端之间可调节其之间距离从而使得移动杠杆（13）可绕支点组件（15）的支点（14）旋转；所述基板（5）两侧分别设置有第一、第二挡块（171、172）。