| 发明名称 | 法拉第杯清洁装置 | ||
| 摘要 | 本实用新型涉及一种法拉第杯清洁装置，包括清洗头，所述清洗头包括放电针，且所述清洗头上设有真空吸附孔，所述法拉第杯清洁装置还包括吸真空设备、连通所述吸真空设备和真空吸附孔的吸附通道、以及与所述放电针电性连接的电源。上述法拉第杯清洁装置通过放电针的高压放电对污染粒子进行电离、分解使其掉落，并通过真空吸附将其吸出法拉第杯，从而完成对污染粒子的清洁。 | ||
| 申请公布号 | CN204710797U | 申请公布日期 | 2015.10.21 |
| 申请号 | CN201520394370.8 | 申请日期 | 2015.06.09 |
| 申请人 | 昆山国显光电有限公司 | 发明人 | 陈策 |
| 分类号 | B08B7/04(2006.01)I | 主分类号 | B08B7/04(2006.01)I |
| 代理机构 | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人 | 唐清凯 |
| 主权项 | 一种法拉第杯清洁装置，包括清洗头，其特征在于，所述清洗头包括放电针，且所述清洗头上设有真空吸附孔，所述法拉第杯清洁装置还包括吸真空设备、连通所述吸真空设备和真空吸附孔的吸附通道、以及与所述放电针电性连接的电源。 | ||
| 地址 | 215300 江苏省苏州市昆山市开发区龙腾路1号4幢 | ||