抗蚀剂组合物、抗蚀图案形成方法和用于其的多元酚衍生物

摘要

提供耐热性优异、对安全溶剂的溶解性高、高灵敏度、且能够赋予良好的抗蚀图案形状的抗蚀剂组合物。这样的抗蚀剂组合物含有下述通式(1)或(2)所示的化合物。

主权项

一种抗蚀剂组合物，其含有下述式(1)或式(2)所示的化合物，式(1)和式(2)中，R¹为单键、或碳数1～30的2n价烃基，该烃基可以具有环式烃基、双键、杂原子或碳数6～30的芳香族基团，其中，所述环式烃基不包括芳香族基团，R²分别独立地为氢原子、卤素原子、碳数1～10的直链状、支链状或环状的烷基、碳数6～10的芳基、碳数2～10的烯基、羟基或羟基的氢原子被酸解离性基团所取代的基团，同一萘环或苯环中R²可以彼此相同也可以不同，R²的至少1个为羟基的氢原子被酸解离性基团所取代的基团，n为1～4的整数，式(1)和式(2)中的重复单元的结构式可以彼此相同也可以不同，式(1)中，m¹分别独立地为1～7的整数，式(2)中，X分别独立地为氧原子或硫原子，m²分别独立地为1～6的整数，q分别独立地为0或1。