FILM FORMING APPARATUS AND SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS
摘要
<p>웨이퍼가 배치된 회전 테이블의 회전 방향에 있어서 반응 가스 노즐과의 사이에, 분리 가스 노즐이 설치되고, 분리 가스 노즐의 회전 방향 양측에서 낮은 천장면을 형성하기 위한 천장 부재가 설치된다. 또한, 반응 가스 노즐이나 분리 가스 노즐을, 진공 용기의 둘레 방향을 따라서 착탈 가능하게 설치하는 동시에, 천장 부재를 천장판에 착탈 가능하게 설치한다.</p>
