| 主权项 |
一种正型光阻组成物，其为含有经由酸之作用而增大对硷显影液之溶解性，且，经由曝光会产生酸之基材成份(A’)之正型光阻组成物，其特征为，前述基材成份(A’)为含有具有：下述通式(a0-1)所表示之结构单位(a0-1)，与经由曝光会产生酸之具有下述通式(a0-2-10)或(a0-2-20)所表示之基的结构单位(a0-2)，与由含有酸解离性溶解抑制基之丙烯酸酯所衍生之结构单位(a1)之树脂成份(A1)，
〔式中，R1为氢原子、碳数1~5之烷基或碳数1~5之卤化烷基，R2为可具有取代基之2价烃基或含有杂原子之2价键结基，R3为环骨架中含有-SO2-之环式基〕；〔式中，A为单键、可具有取代基之2价烃基或含有杂原子之2价键结基，R4为可具有取代基之碳数6~20之伸芳基，R5、R6各自独立地为可具有取代基之碳数6~20之芳基或碳数1~10之直链状、支链状或环状之烷基，R5、R6可相互键结并与式中之硫原子共同形成环亦可，X-为对阴离子、Rf1、Rf2各自独立地为氢原子、碳数1~5之烷基、氟原子，或碳数1~5之氟化烷基，Rf1、Rf2之中之至少1个为氟原子或碳数1~5之氟化烷基，n为1~8之整数，Mm+为对阳离子，m为1~3之整数〕。 |
