| 摘要 |
Eine Vakuumpumpe, insbesondere Turbomolekularpumpe, umfasst wenigstens einen Pumpmechanismus (124) zum Pumpen von Gas längs eines von einem Haupteinlass (70) zu einem Auslass für das Gas verlaufenden Pumpkanals (10) und ist dadurch gekennzeichnet, dass der Pumpmechanismus derart ausgebildet ist, dass ein erster pumpwirksamer Abschnitt (136) des Pumpmechanismus, der stromaufwärts bezüglich eines zweiten pumpwirksamen Abschnitts (138) des Pumpmechanismus vorgesehen ist, ein höheres Kompressionsvermögen als der zweite pumpwirksame Abschnitt aufweist, und/oder dass der Pumpmechanismus derart ausgebildet ist, dass der zweite pumpwirksame Abschnitt ein höheres Saugvermögen als der erste pumpwirksame Abschnitt aufweist. |
