活性种供给装置以及表面等处理装置

摘要

保护放电电极部免受处理气体影响，防止其氧化，延长其寿命。用电极罩（22P～25P）覆盖电极（22～25），并设置放电开口（22HL、HR～25HL、HR，其中，22HL、25HR被堵塞）。另外，在放电开口（22HL、HR～25HL、HR）的上游侧，在错开90°相位的位置设置保护气体流入口（22Q～25Q）。从保护气体流入口（22Q～25Q）流入的保护气体流过放电电极部（22S～25S）的周边而向放电空间流出。由于对放电电极部（22S～25S）供给保护气体，因此能够使放电电极部（22S～25S）难以接触处理气体。因此，能够抑制放电电极部（22S～25S）的氧化，延长其寿命。

主权项

一种活性种供给装置，对放电空间供给处理气体，至少将在等离子体内生成的活性种提供给被处理物，其特征在于，包含：形成所述放电空间的至少一对电极；以及保护各个所述电极免受所述处理气体影响的电极保护装置，所述电极保护装置包含：分别覆盖各个所述电极的电极罩；及对各个所述电极罩的内侧从保护气体流入口供给保护气体的罩内保护气体供给部，在所述电极罩中的彼此相邻的电极罩的、彼此相对的部分且比所述保护气体流入口更靠下游侧的部分设有放电开口。