基于PLC控制的自动物料搬送系统及其控制方法

摘要

本发明提供了一种基于PLC控制的自动物料搬送系统及其控制方法，在现有的AMHS控制结构基础上，把原来自动物料搬送系统的各级控制器由PLC控制系统替代，同时结合WinCC开发的MES，OHT分系统的调度算法上采用对OHT分系统按功能类别定型，对Intrabay、Interbay中的OHT分系统的数量分别按照上限法进行数量限制，调度按适型适用和类型更替法进行。对每个OHT分系统的类型分成四种类型从而在调度中对该四种类型采用轮转方式定型，以满足对tool的及时响应。

主权项

一种基于PLC控制的自动物料搬送系统，其特征在于：它包括制造执行分系统、总控PLC、高架天车分系统、天车分系统、仓储分系统及加工单元分系统、及加工单元分系统内的机台分系统；所述高架天车分系统包括多个高架天车及一一对应的高架天车PLC控制器；所述天车分系统包括多个天车及一一对应的天车PLC控制器；所述仓储分系统包括多个仓储PLC控制器；所述机台分系统包括多个机台PLC控制器；所述总控PLC分别连接高架天车分系统的高架天车PLC控制器、天车分系统的天车PLC控制器、仓储分系统的仓储PLC控制器及机台分系统的机台PLC控制器；所述制造执行分系统连接总控PLC，通过总控PLC控制高架天车分系统、天车分系统、仓储分系统及机台分系统；所述自动物料搬送系统的搬送控制方法具体为：A)、判断工作模式，操作触发后总控PLC通过梯形图程序采集制造执行分系统的工作模式；B)、判断安全回路，总控PLC采集高架天车PLC控制器、天车PLC控制器、仓储PLC控制器及机台PLC控制器的安全状态；C)、获取高架天车数量，总控PLC通过计算该高架天车所在区域，获取加工单元内部Intrabay、加工单元之间Interbay的高架天车数量；D)、高架天车车型指定，总控PLC对加工单元内部Intrabay、加工单元之间Interbay的高架天车车型指定；E)、高架天车需求解析，总控PLC对高架天车的需求进行解析，根据机台分系统发送过来的某一取晶圆传送盒处理完毕信号，接下来需要进行哪个加工单元的工艺处理信息，总控PLC收到信号后进行路径规划，按照机台分系统发送过来的需求进行起始位置目的位置与原先存储的路径位置进行比对，选择从取晶圆传送盒位置到下一工艺处理单元的机台分系统放取晶圆传送盒位置路径程序，解析后根据情况执行下述步骤E1‑E3中的任意一步，E1)、天车任务调度，总控PLC读取天车在轨道上的位置并计算哪个天车离有需求的机台分系统距离最近，然后判断车型，而后根据其车型调度天车；E2)、加工单元内部、加工单元之间的高架天车的调度，总控PLC计算加工单元内部距离需要搬运的晶圆传送盒距离最近的车，找到距离最近的车后，计算剩下的高架天车的数量，对所述距离最近的车按类型调度；E3)、仓储任务调度，总控PLC在掉电保存数据块中保存仓储所有位置坐标值，每个坐标值对应一个标志位，在执行调度任务时，总控PLC把目的位置的标志位直接发给仓储PLC控制器，然后把走到该目的位置的速度和位置值的参数通道发送给仓储PLC控制器，完成后仓储PLC控制器给总控PLC回发到位信号；F)、是否退出自动，否则回到步骤E，是则返回步骤A。