发明名称 8~14μm波段选择性低发射率的红外隐身薄膜及其制备方法
摘要 一种8~14μm波段选择性低发射率的红外隐身薄膜,该薄膜可对光谱的发射辐射进行调控,实现在8.0μm~14.0μm的红外窗口波段的低发射率,其他波段实现高发射率;该薄膜具有多层膜结构,主要由高折射率Ge材料层和低折射率ZnS材料层交替叠加而成。该薄膜的制备方法包括:先进行衬底的清洗;然后采用射频磁控溅射的方法在衬底表面交替镀上高折射率Ge材料层和低折射率ZnS材料层;溅射镀层时适当控制衬底温度、射频溅射功率和溅射时间即可。本发明针对常温条件下8.0μm~14.0μm波段的发射辐射的调制,可以解决红外隐身带来的隐身与散热的兼容性问题,具有工艺简单、重复性好、设备要求低等优点。
申请公布号 CN104991291A 申请公布日期 2015.10.21
申请号 CN201510362417.7 申请日期 2015.06.26
申请人 中国人民解放军国防科学技术大学 发明人 彭亮;程海峰;李俊生;郑文伟;周永江;刘海韬;张朝阳
分类号 G02B1/10(2015.01)I;B32B19/00(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I 主分类号 G02B1/10(2015.01)I
代理机构 长沙朕扬知识产权代理事务所(普通合伙) 43213 代理人 杨斌
主权项 一种8~14μm波段选择性低发射率的红外隐身薄膜,其特征在于,所述红外隐身薄膜能对光谱的发射辐射进行调控,实现在8.0μm~14.0μm的红外窗口波段的低发射率,其他波段实现高发射率;所述红外隐身薄膜具有多层膜结构,主要由高折射率Ge材料层和低折射率ZnS材料层交替叠加而成。
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