一种周期性碗状结构模板及其制备方法

摘要

本发明公开一种周期性碗状结构模板及其制备方法，包括：在基底上沉积二氧化硅掩膜层，在其上旋涂光刻胶，制备周期性微纳米光刻胶点阵图形，在光刻胶结构上沉积一层金属薄膜，经过剥离后得到金属孔阵图形，再以金属孔阵结构为掩膜，采用湿法腐蚀技术形成二氧化硅的碗状阵列结构，最后除去金属掩膜。本发明制备的周期性碗状模板面积大，结构均匀完整，在制备图形衬底、光子晶体、表面粗化、表面制绒和微纳米器件等方面有很好的应用前景，能广泛应用于LED、太阳能电池、光子晶体、量子器件等方面，或作为基底材料的刻蚀掩膜层，用于其它微纳米结构的制造。

主权项

一种周期性碗状结构模板及其制备方法，其特征是，包括如下步骤：步骤1，在基底(1)上沉积二氧化硅(2)，形成衬底；步骤2，在二氧化硅(2)之上旋涂光刻胶(3)，采用微纳米光刻方法在衬底上制备周期性微纳米光刻胶(3)点阵图形，形成带有光刻胶(3)的基体；步骤3，在带有光刻胶(3)的基体的上方，即周期性光刻胶(3)点阵图形及其二氧化硅(2)上沉积一层金属薄膜(4)，形成带有金属薄膜(4)的基体；步骤4，带有金属薄膜(4)的基体经过剥离后，其上的光刻胶(3)点阵图形被反转为金属薄膜(4)孔阵图形，得到带有周期性金属薄膜(4)孔阵图形的基底(1)；步骤5，将带有周期性金属薄膜(4)孔阵图形的基底(1)放入腐蚀液中进行腐蚀，在二氧化硅(2)上部形成多个碗状的金属孔(5)，且这些金属孔(5)在二氧化硅(2)上部呈周期性排布，得到具有周期性碗状金属孔(5)的基底(1)；步骤6，去除具有周期性碗状金属孔(5)的基底(1)上的金属薄膜(4)，清洁基底(1)，得到周期性碗状结构模板。