用以改善磁隧道结元件短路的不连续镁插入层

摘要

本发明公开了一种具有不连续镁或镁合金层的磁隧道结元件，其厚度为1～3埃并于下自旋阀配置中设置于自由层以及覆盖层之间，不连续镁层可用以阻挡于覆盖层的导体材料，由自由层扩散进入穿隧阻障层，来避免导体信道的型态的发生，进而避免穿隧阻障层的绝缘阵列产生短路；如此一来，磁阻率对应阻抗图式中的下尾部的百分比可最小化，尤其是经过高温退火过程，更能使磁隧道结阵列中的磁隧道结元件的效能大幅提高；从而不连续层可通过低功率物理气相沉积来形成。

主权项

一种磁隧道结元件，其特征在于，包含：(a)一自由层，具有垂直磁性异向性，并接触于一穿隧阻障层的一上表面；(b)一覆盖层，为该磁隧道结元件的最上层；以及(c)一不连续镁或镁合金插入层，形成于该自由层以及该覆盖层之间，其中，该镁合金插入层中的金属为钽、钛、钒、钼、锆、铪、铂、钯、钨、铌、铑、钌、铜、铬或铱，且含量低于整体合金的5原子百分比。