Z轴电容式微机械加速度计

摘要

本发明公开了Z轴电容式微机械加速度计，属于微机械电子系统中的惯性传感器的技术领域，包括：玻璃基座，键合在玻璃基座上的扭转结构层，溅射在玻璃基座上的金电极层，扭转结构层包括结构相同四个子单元，任意三个子单元相当于另一个子单元按照顺时针方向或者逆时针方向分别旋转九十度、一百八十度、二百七十度得到。本发明通过减小检测电容极板正对面积与极板间距的比值来增大微机械加速度计的灵敏度，完全对称的扭转结构层使得结构共模抑制比大，减小了输出信号的零点偏移。

主权项

Z轴电容式微机械加速度计，包括：玻璃基座，键合在玻璃基座上的扭转结构层，溅射在玻璃基座上的金电极层，其特征在于：所述扭转结构层包括结构相同四个子单元，任意三个子单元相当于另一个子单元按照顺时针方向或者逆时针方向分别旋转九十度、一百八十度、二百七十度得到；其中，所述每个子单元包括：对称结构的四边形质量块，与所述四边形质量块连接的支撑梁，在四边形质量块对称轴一侧的局部质量块上留有镂空区域，在所述四边形质量块对称的第一侧边、第二侧边上均附着有梳齿，附着在四边形质量块第一侧边上的水平梳齿与所属子单元的垂直方向夹角为九十度，附着在四边形质量块第二侧边上的垂直梳齿与所属子单元的水平方向夹角为九十度，每个子单元的水平梳齿与相邻子单元的垂直梳齿交叠在一起形成梳齿电容对。