一种石英微机械传感器电极蒸镀用的掩膜工装

摘要

本发明公开了一种石英微机械传感器电极蒸镀用的掩膜工装，包括上掩膜板（10）、下掩膜板（30）和固定夹具（40）；上掩膜板（10）包括第一框架（1）和第一薄板（3）；下掩膜板（30）包括第二框架（5）和第二薄板（8）；第二薄板（8）通过激光焊接方式固定在第二框架（5）的上表面；在第二框架（5）横向上形成吸气孔（4）；在第二框架（5）上靠近所述第二薄板（8）的外边缘的圆周方向上形成吸气槽（7），且吸气槽（7）与吸气孔（4）相通；通过所述固定夹具（40）依次将上掩膜板（10）、待加工基片（20）和下掩膜板（30）固定。本发明的掩膜工装结构简单、便于机加制作，同时能够很好地实现对电极的双面掩膜蒸镀。

主权项

一种石英微机械传感器电极蒸镀用的掩膜工装，其特征在于，包括上掩膜板(10)、下掩膜板(30)和固定夹具(40)；所述上掩膜板(10)包括第一框架(1)和第一薄板(3)；第一薄板(3)通过激光焊接方式固定在第一框架(1)的下表面，第一框架(1)的下表面上留有的激光焊接点(2)不高于第一薄板(3)表面；所述第一框架(1)上形成第一锥形孔(11)，第一锥形孔的上端直径比下端直径大；所述下掩膜板(30)包括第二框架(5)和第二薄板(8)；第二薄板(8)通过激光焊接方式固定在第二框架(5)的上表面，第二框架(5)的上表面上留有的激光焊点(6)不高于第二薄板(8)表面；所述第二框架(5)上形成第二锥形孔(12)，第二锥形孔的上端直径比下端直径小；在第二框架(5)横向上形成吸气孔(4)；在第二框架(5)上靠近所述第二薄板(8)的外边缘的圆周方向上形成吸气槽(7)，且吸气槽(7)与吸气孔(4)相通；第一薄板(3)与待加工基片(20)的上表面接触；第二薄板(8)与待加工基片(20)的下表面接触；通过所述固定夹具(40)依次将上掩膜板(10)、待加工基片(20)和下掩膜板(30)固定；在第一薄板(3)和第二薄板(8)上分别形成与石英微机械传感器电极形状对应的图形；第一框架(1)、第一薄板(3)、第二框架(5)、第二薄板(8)和固定夹具(40)的材料相同。