| 摘要 |
<p>(과제) 평균 열팽창 계수(23∼150℃)가 2∼6ppm/K의 범위에서 임의로 조절 가능하고, 영률이 높고 또한 기계적 강도가 크고, 소결성이 뛰어난 질화규소ㆍ메릴라이트 복합 소결체 및 이것을 이용한 장치를 제공한다. (해결수단) 질화규소ㆍ메릴라이트 복합 소결체는 질화규소 및 메릴라이트(MeSi0N, Me는 메릴라이트를 형성하는 금속원소로서 La, Ce, Pr을 제외하는 주기율표 Ⅲa족 원소)를 함유하는 복합 소결체로서, Si를 SiN환산으로 41∼83㏖%, Me를 산화물 환산으로 13∼50㏖% 함유한다. 또, 장치는 반도체 검사용 장치로서, 상기한 바와 같은 질화규소ㆍ메릴라이트 복합 소결체를 이용하여 구성된다.</p> |
