| 主权项 |
一种图案检查装置，其为检查形成于透明基材上之图案者，其具备有：第一光源部，其对在板状或薄膜状之透明基材上形成有图案之一侧之主表面照射光线；第二光源部，其对上述透明基材之另一侧之主表面照射光线；一个受光部，其可接受来自上述第一光源部之光线之自上述图案之上面之反射光、与来自上述第二光源部之光线之自上述透明基材之穿透光；移动机构，其使上述透明基材相对于上述第一光源部、上述第二光源部及上述受光部向沿着上述一侧之主表面之移动方向以相对之方式移动；控制部，其一方面藉由上述移动机构使上述透明基材以连续或间断之方式相对移动，一方面使上述第一光源部与上述第二光源部以交替之方式点灯，藉此使用上述受光部取得根据由上述图案之上述上面所反射之上述反射光之反射图像与根据上述穿透光之穿透图像；及检查部，其藉由比较上述反射图像与上述穿透图像，而取得上述图案之检查结果。
|
