基板用涂布装置

主权项

一种基板用涂布装置，系构成使狭缝喷嘴对板状基板相对地朝一方向进行扫描，并从上述狭缝喷嘴吐出涂布液，而于上述基板涂布面形成一定长度之涂布膜者；其具备有：滑件，系由按照加速区间、一定速度区间及减速区间构成之指令轨道作动之滑件轴所驱动，而使上述狭缝喷嘴对上述基板进行相对性扫描；泵，系由按照加速区间、一定吐出区间及减速区间构成之指令轨道作动之泵轴所驱动，而对狭缝喷嘴供应上述涂布液；吐出状态量计测部，系构成为测量用以表示来自狭缝喷嘴前端的涂布液吐出状态之状态量；以及控制部，系构成为根据来自按照上述泵轴之指令轨道驱动上述泵时之上述吐出状态量计测部的计测资讯，生成上述滑件轴的上述指令轨道；上述控制部系，规定最大吐出速度、加速区间、减速区间及一定吐出区间，并测量驱动上述泵轴时之吐出压变化，针对上述加速区间及上述减速区间的非线性响应，执行杂讯除去与正规化并制成正规化曲线，将上述正规化曲线适用于上述滑件轴的加速部分及减速部分，调整在规定最高移动速度之状态下的定速移动区间并
制成上述滑件轴的指令轨道，依同步于上述指令轨道之方式决定上述泵轴的一定吐出区间。