电浆处理装置

主权项

一种电浆处理装置，其特征在于包括：处理室，对基板进行电浆处理；接地电极，配置于处理室的内部，且将上述基板载置于上表面；电极板，夹持电浆空间而与上述接地电极相对向；高频电极，将上述电极板电性连接于上述电浆空间侧的第1主面，且将上述第1主面的相反侧的第2主面连接于高频电源；以及低头六角螺钉，其头部突出至上述电浆空间，其头部的厚度处于1mm~2mm的范围，使上述头部对向于上述接地电极，且将上述电极板固定于上述高频电极。