一种液晶显示面板及其制造方法

摘要

本发明公开一种液晶显示面板及其制造方法，其包括：位于基板上纵横交叉的数据线和扫描线，所述数据线和扫描线交叉限定像素区域内的像素电极和薄膜晶体管，所述像素区域内还包括与所述像素电极一起构成储存电容的透明公共电极；所述薄膜晶体管包括栅极、源极、漏极，本液晶显示面板还包括与透明公共电极一起形成的半导体层，且所述半导体层与透明公共电极均位于基板上。本发明由于制程中限制不多，可以形成相邻像素之间透明公共电极的直接连接，减小了透明公共电极上的阻抗，公共电极上电压分布更加均匀，且本发明是一种节省mask的制程方式，可以将带有透明存储电容的液晶面板制造方法缩减至5道或4道光罩，可以提高产能，节约成本。

主权项

一种液晶显示面板的制造方法，其特征在于，包括如下步骤：第一步：在基板上溅射形成一层IGZO层，形成半导体层和透明公共电极；第二步：在形成上述第一步图案的基础上形成第一绝缘膜；再在第一绝缘膜上溅射形成第一金属层，即形成扫描线和与扫描线连接的栅极；再通过刻蚀形成第一绝缘层与第一金属层的叠层图案，该叠层图案的第一绝缘层和栅极在半导体层上位于预定TFT沟道区；第三步：在形成上述第二步图案的基础上用离子注入，使得未被第一绝缘层和栅极遮住的IGZO层成为导体，即：形成具有导体特性的源漏极、以及透明公共电极；第四步：在形成上述第三步图案的基础上先覆盖形成第二绝缘膜，再在第二绝缘膜上溅射形成与扫描线空间垂直的数据线；第五步：在形成上述第四步图案的基础上又先覆盖第三绝缘膜，再在第三绝缘膜相应的位置形成若干接触孔，并定义靠近源极的数据线上的接触孔为第一接触孔、位于源极上的接触孔为第二接触孔、以及位于漏极上的接触孔为第三接触孔；第六步：在形成上述第五步图案的基础上形成ITO层，形成通过第三接触孔连接漏极的像素电极、以及通过第一接触孔和第二接触孔连接源极和数据线的连接部。