| 发明名称 |
8寸固晶机分割12寸晶圆MAPPING图设备及方法 |
| 摘要 |
本发明公开了一种用8寸固晶机分割12寸晶圆MAPPING图设备；包括移动承载台；及设置于移动承载台上方的分割机构；其特征在于：所述分割机构前侧安装有摄像系统；所述摄像系统与电脑设备通信；其方法包括以下步骤：第一步，首先由晶圆切割厂，将12寸晶圆任意分成4份；第二步，将12寸晶圆MAPPING图电脑设备进行显示；第三步，将其中一份带标记点的晶圆放入移动承载台上；第四步，通过摄像系统的摄像头识别标记点，与MAPPING图上标记点对应，移动承载台寻找晶圆边分割边缘，由控制系统将12寸晶圆图分成对应的4份，分别自动保存；第五步，分成4份后，每一份都在8寸IC固晶机上完成晶圆MAPPING图工作；能够直接在8寸IC固晶机上做带MAPPING的12寸晶圆。 |
| 申请公布号 |
CN104992915A |
申请公布日期 |
2015.10.21 |
| 申请号 |
CN201510425838.X |
申请日期 |
2015.07.20 |
| 申请人 |
翼龙设备（大连）有限公司 |
发明人 |
胡国俊;李海洋;奚衍东;刘德秋 |
| 分类号 |
H01L21/67(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/67(2006.01)I |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
一种用8寸固晶机分割12寸晶圆MAPPING图设备，包括移动承载台；及设置于移动承载台上方的分割机构；其特征在于：所述分割机构前侧安装有摄像系统；所述摄像系统与电脑设备通信。 |
| 地址 |
116600 辽宁省大连市大连开发区铁山东路95-2-3 |
