Method of fabricating the Semiconductor device

摘要

반도체 소자 및 그 제조 방법이 제공된다. 이 방법에 따르면, 기판 상에 패턴을 형성하고, 패턴 상에 캡핑 유전막을 형성하고, 상기 캡핑 유전막에 질소를 공급하는 질화 공정을 수행하여 확산 베리어막이 형성된다.