具有低固体含量之化学机械抛光组合物及其相关方法

主权项

一种抛光组合物，其包含：(a)0.001wt.%至0.1wt.%经聚合物涂覆之磨料粒子，(b)至少一种阴离子型表面活性剂，及(c)水，其中该组合物具有1.5至5之pH。