泵送系统

摘要

一种真空泵送系统包括用于抽空包围空间的多个真空泵送装置和用于由至少一个第一真空泵送装置抽空的辅助真空室。真空泵送系统具有用于抽空包围空间的第一状态，以及用于节省由系统消耗的功率的第二状态。在第二状态的第一阶段中，第一真空泵送装置布置成抽空至少一个第二真空泵送装置的排气口，并且在第二阶段中，第一泵送装置的排气口布置成由辅助真空室抽空。

主权项

一种真空泵送系统，其包括用于抽空包围空间的多个真空泵送装置和用于由至少一个第一真空泵送装置来抽空的辅助真空室，所述真空泵送系统具有用于抽空所述包围空间的第一状态和用于节省由所述系统消耗的功率的第二状态，其中在所述第二状态的第一阶段中，所述至少一个第一真空泵送装置布置成抽空至少一个第二真空泵送装置的排气口，并且在第二阶段中，所述至少一个第一泵送装置的所述排气口布置成由所述辅助真空室抽空。