可产生均流气帘屏障之装置

主权项

一种可产生均流气帘屏障之装置，其包括：一第一外壳，其为一长度略长于晶圆传送盒与微环境连接开口长度之长条形板体，该第一外壳上方及两侧分别设有贯穿之锁合孔，内表面则设有数横向凹槽；一第二外壳，其为一两侧封闭之倒L形壳体且与第一外壳等长，该第二外壳及第一外壳接合处设有与前述锁合孔相对应之螺孔，内表面设有与第一外壳横向凹槽相对应之ㄇ形凹槽，壳体顶端两侧则设有进气孔，该第二外壳与第一外壳可藉由螺栓穿过其前述锁合孔后锁入螺孔内而组合成一底部形成开口之长条状壳体；至少一透气板，其系装设于两外壳内表面之横向凹槽与ㄇ形凹槽所连接成的环状槽体内固定，该透气板上具有透气孔隙；两挡板，其系分别锁固于前述组合壳体两侧；由上述元件组成之装置系装设于晶圆传送盒与微环境连接之开口处，其特征在于：当洁净乾空气或氮气由壳体顶端之进气口充填至壳体内部时，由于透气板之孔隙极小，气流受到阻力而在装置内部建立压阻，直至内部压力高到一定程度时，气体整流后会通过透气板孔隙由壳体下方出风口向下排出，在晶圆传送盒与微环境连接之开口处产生一道均匀的气帘屏障以阻隔外气在取出晶圆时进入该晶圆传送盒内部造成污染。