发明名称 |
光阻剂用树脂组成物 |
摘要 |
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申请公布号 |
TWI505022 |
申请公布日期 |
2015.10.21 |
申请号 |
TW100130624 |
申请日期 |
2011.08.26 |
申请人 |
住友电木股份有限公司 |
发明人 |
大西治;池田阳雄 |
分类号 |
G03F7/004;G03F7/022;C08L45/00;C08L61/06 |
主分类号 |
G03F7/004 |
代理机构 |
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代理人 |
赖经臣 台北市松山区南京东路3段346号11楼;宿希成 台北市松山区南京东路3段346号11楼 |
主权项 |
一种光阻剂用树脂组成物,系含有:酚醛清漆型酚树脂、环状烯烃树脂、以及由含萘醌重氮基(naphthoquinonediazide group)之化合物构成之感光剂。 |
地址 |
日本 |