发明名称 光阻剂用树脂组成物
摘要
申请公布号 TWI505022 申请公布日期 2015.10.21
申请号 TW100130624 申请日期 2011.08.26
申请人 住友电木股份有限公司 发明人 大西治;池田阳雄
分类号 G03F7/004;G03F7/022;C08L45/00;C08L61/06 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人 赖经臣 台北市松山区南京东路3段346号11楼;宿希成 台北市松山区南京东路3段346号11楼
主权项 一种光阻剂用树脂组成物,系含有:酚醛清漆型酚树脂、环状烯烃树脂、以及由含萘醌重氮基(naphthoquinonediazide group)之化合物构成之感光剂。
地址 日本