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发明名称 スピンコート装置
摘要
申请公布号 JP5796555(B2) 申请公布日期 2015.10.21
申请号 JP20120157678 申请日期 2012.07.13
申请人 发明人
分类号 H01L21/027;B05C11/08 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
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