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发明名称 具有类钻碳膜之材料及其制造方法
摘要
申请公布号 TWI504766 申请公布日期 2015.10.21
申请号 TW099132971 申请日期 2010.09.29
申请人 光田好孝;ＳＭＣ股份有限公司 发明人 光田好孝;野濑健二;森久佑弥
分类号 C23C14/06;C23C14/54 主分类号 C23C14/06
代理机构 代理人 洪武雄 台北市中正区杭州南路1段15之1号9楼;陈昭诚 台北市中正区杭州南路1段15之1号9楼
主权项 一种具有类钻碳膜之材料，包括：基板；以及以中间层介于其间而形成于该基板表面上之类钻碳膜，其中，该中间层为复合层，系含有衍生自该基板之成分金属(component metal)原子及类钻碳。
地址 日本
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