| 主权项 |
一种薄膜沉积组件(100)，包括：一沉积腔室(102)，其包含至少一膨胀热电浆来源(104)，该膨胀热电浆来源建构为产生一电浆羽(116)；一基板传送系统(122)，建构为沿着具有一基板传送路径方向(T)的一基板传送路径(126)传送至少一基板(120)通过该电浆羽(116)；以及一遮罩(128)，在操作过程中该遮罩(128)至少部份曝露于该电浆羽(116)中，且该遮罩(128)成形为用以遮蔽该基板传送路径(126)之一部位(127)以避免在该部位(127)上进行沉积；该遮罩(128)仅在该电浆羽(116)的下游半部或上游半部中延伸；该电浆羽包含多个沉积区域(130a、130b、130c)，每个沉积区域具有一与相邻沉积区域相异之化学成分的相对组成；其中该基板传送路径之该遮蔽部位于该基板传送路径方向(T)延伸且架接在至少一第一沉积区域(130a、130b)上，同时该遮蔽部位的一末端位于一第二沉积区域中(130c)。 |
