电感耦合电浆处理装置

主权项

一种电感耦合电浆处理装置，其特征系具备：处理室，其系收容被处理基板来实施电浆处理；载置台，其系于前述处理室内载置被处理基板；处理气体供给系，其系对前述处理室内供给处理气体；排气系，其系将前述处理室内排气；高频天线，其系于前述处理室内形成感应电场；及第一高频电源，其系对前述高频天线供给高频电力；在前述高频天线与前述处理室之间，形成有与构成前述处理室的本体容器绝缘形成之非磁性体导电性的金属窗，前述金属窗系藉由绝缘体来互相绝缘的状态下分割成复数。