环形带状可回转激光掩模在线式切割或刻印系统

摘要

本发明公开了一种环形带状可回转激光掩模在线式切割或刻印系统，包括：激光部，提供连续的、输出能量可调节的激光水源；掩模，可高速回转循环转动，提供所需图案和切割或刻印的图案尺寸；光路组件，将掩模上图案信息切割或刻印至待加工材料；驱动和传动部，提供动力源并使掩模和待加工材料之间的运动和速度进行匹配，实现同步传动。本发明避免了激光光路组件的移动，消除了因光路组件的本身质量惯性而限制激光切割和刻印的速度，达到提高激光切割和刻印速度的效果，消除了现有技术下光路组件运动速度极限从而限制整体加工速度及在待加工材料运动状态下造成切割或刻印图案变形的缺陷，有效提高了生产效率，降低了维护成本，应用范围广泛。

主权项

一种环形带状可回转激光掩模在线式切割或刻印系统，包括：激光部，提供连续的、输出能量可调节的激光源；掩模，可高速回转循环转动，提供所需图案和切割或刻印的图案尺寸；光路组件，将掩模上图案信息切割或刻印至待加工材料；驱动和传动部，提供动力源并使掩模和待加工材料之间的运动和速度进行匹配，实现同步传动；其特征在于：所述掩模为环形带状，传动部包括第一掩模端同步带轮、第二掩模端同步带轮、传动轴、第一加工端同步带轮、第二加工端同步带轮、第一加工端同步带、并列设置的第一加工端传动轴和第二加工端传动轴、设置于第一加工端传动轴或第二加工端传动轴上的用于压紧待加工材料的从动轮、连接第一加工端传动轴及第二加工端传动轴的第二加工端同步带；第一掩模端同步带轮、第二掩模端同步带轮水平平行设置，第二掩模端同步带轮与第二加工端同步带轮分别并列设置于传动轴两端，带状掩模卷绕于第一掩模端同步带轮、第二掩模端同步带轮上；所述掩模的中间部分，为掩模图案区域。