| 发明名称 | 一种提高MOCVD外延片波长良率的卫星盘 | ||
| 摘要 | 一种提高MOCVD外延片波长良率的卫星盘，在卫星盘体的背面中心开设固定栓支撑小孔，在卫星盘体的正面中心设置一个中心片槽，以所述中心片槽为对称中心，在卫星盘体的正面布置若干边缘片槽，其特征在于：在所述中心片槽的底部开设内凹槽。通过石墨盘与空隙热导率的差异降低中心片的温度，增加中心片波长，使中心片与边缘片波长一致，从而提高外延片生产的波长良率。 | ||
| 申请公布号 | CN204714941U | 申请公布日期 | 2015.10.21 |
| 申请号 | CN201520367958.4 | 申请日期 | 2015.06.02 |
| 申请人 | 扬州中科半导体照明有限公司 | 发明人 | 孙一军;李鸿渐;李盼盼;赵新印;王明洋;金豫浙;李志聪;王辉;王国宏 |
| 分类号 | C30B25/12(2006.01)I;C30B29/40(2006.01)I | 主分类号 | C30B25/12(2006.01)I |
| 代理机构 | 扬州市锦江专利事务所 32106 | 代理人 | 江平 |
| 主权项 | 一种提高MOCVD外延片波长良率的卫星盘，包括卫星盘体，在卫星盘体的背面中心开设固定栓支撑小孔，在卫星盘体的正面中心设置一个中心片槽，以所述中心片槽为对称中心，在卫星盘体的正面布置若干边缘片槽，其特征在于：在所述中心片槽的底部开设内凹槽。 | ||
| 地址 | 225009 江苏省扬州市开发区临江路186号 | ||