用于测量力和转矩的传感器组件和方法

摘要

一种传感器组件包括底板和可相对于底板发生位移的传感器构件。弹簧布置件响应于传感器构件相对于底板的位移按照第一级和第二级进行操作。力和转矩测量的不同分辨率与所述第一和第二级相关。光敏换能器感测传感器构件相对于底板的位移并生成对应的输出信号。准直器将多个光束引导到所述光敏换能器上，从而使各个光束照射所述光敏换能器的不同像素，以感测所述传感器构件相对于所述底板的位移。

主权项

一种传感器组件，包括：底板；能够相对于所述底板位移的传感器构件；对所述传感器构件相对于所述底板的位移做出反应的具有第一级和第二级的弹簧布置件，其中力和转矩测量的不同分辨率与所述第一级和所述第二级相关；以及用于感测所述传感器构件相对于所述底板的位移并且生成对应的输出信号的光敏转换器。