适用于激光显示的消相干准三维光子晶体超辐射光源

摘要

一种适用于激光显示的消相干准三维光子晶体超辐射光源，包括：一N型衬底；一N型光子晶体波导层，其制作在N型衬底上；一有源层，其制作在N型光子晶体波导层上；一P型波导层，其制作在有源层上，该P型波导层上面的中间有一凸起的脊形波导结构，该波导结构为P型横向限制层，该P型横向限制层横向开有多个狭槽，形成啁啾狭槽结构；一绝缘层，其制作在P型横向限制层两侧及横向的狭槽内；一N电极，其制作在绝缘层以及P型横向限制层上；一P电极，其制作在N型衬底的背面。本发明针对红绿蓝三基色激光对谱宽的需求，设计啁啾狭槽，以达到对不同波长的光都实现无散斑的投影显示。

主权项

一种适用于激光显示的消相干准三维光子晶体超辐射光源，包括：一N型衬底；一N型光子晶体波导层，其制作在N型衬底上；一有源层，其制作在N型光子晶体波导层上；一P型波导层，其制作在有源层上，该P型波导层上面的中间有一凸起的脊形波导结构，该波导结构为P型横向限制层，该P型横向限制层横向开有多个狭槽，形成啁啾狭槽结构；一绝缘层，其制作在P型横向限制层两侧及横向的狭槽内；一N电极，其制作在绝缘层以及P型横向限制层上；一P电极，其制作在N型衬底的背面。